Líkamleg hreinsun á kísilskífum

Það eru þrjár aðferðir við líkamlega hreinsun:
(1) Burstun eða skúring: getur fjarlægt agnamengun og flestar filmur festar við filmuna.
(2) Háþrýstihreinsun: vökva er úðað á yfirborð filmunnar og þrýstingur stútsins er allt að nokkur hundruð andrúmsloft. Háþrýstihreinsun byggir á þotuvirkni, þannig að filman er ólíklegri til að rispast og skemmist. Hins vegar mun háþrýstingsúðun framleiða stöðurafmagn, sem hægt er að forðast með því að stilla fjarlægð og horn milli stútsins og filmunnar eða bæta við truflanir.
(3) Ultrasonic hreinsun: Ultrasonic hljóðorka er send inn í lausnina og mengunin á filmunni er skoluð burt með kavitation. Hins vegar er erfiðara að fjarlægja agnir sem eru minni en 1 míkron úr mynstraðri blöðum. Auktu tíðnina í ofurhá tíðnisviðið fyrir betri hreinsunaráhrif.