Vinnsla-Samhæfð sílikonskífa

Vinnsla-Samhæfð sílikonskífa

Þetta hár-hreinleika sílikon hvarfefni er hernaðarlega hannað fyrirfullur ferli eindrægni, sem tryggir núningslaus umskipti yfir í núverandi örrafrænar framleiðslulínur. Bjartsýni fyrir allt þvermálsrófið frá2-tommu (50 mm) til 12 tommu (300 mm), þessar oblátur virka sem „plug-and-play“ miðill, hannaður til að passa fullkomlega við staðlaða varma- og efnaviðmið iðnaðarins.

Tæknilegir kostir:

Tafarlaus ættleiðing með stöðluðum breytum:Eðliseiginleikar og rafeiginleikar skúffunnar eru forkvörðuð- til að styðjastaðlaðar framleiðslubreytur. Með því að viðhalda ströngu fylgni við SEMI staðla fyrir hak/slétta stefnu og brúnprófíla, krefst það lágmarks aðlögunar á innleiðingarstiginu, sem gerir verkfræðingum kleift að komast framhjá langri endurkvörðun verkfæra.

Aukin kerfisbundin skilvirkni:Hvert undirlag er hannað til að bæta almenntskilvirkni ferlimeð því að bjóða upp á yfirburða hitastöðugleika og grindarheilleika. Þetta dregur úr tíðni vinnsluferlis í ákafur skrefum eins og efnagufuútfellingu (CVD) eða þurrætingu, sem leiðir til fyrirsjáanlegra hringrásartíma og minni ruslhraða.

Staðfest kerfisfínstilling:Sérstaklega sniðin fyrirstofnað framleiðslukerfi, vélrænni styrkleiki efnisins tryggir áreiðanlega frammistöðu bæði í vintage 150mm/200mm verkfærum og háþróuðum 300mm sjálfvirkum klösum. Samræmd yfirborðsefnafræði þess auðveldar stöðugt viðmót fyrirPower IC (IGBT/MOSFET) og CMOSforrit, sem tryggir-áreiðanleika til lengri tíma án þess að breyta núverandi verkflæði.

maq per Qat: vinnslu-samhæfð kísilskífa, Kína vinnsla-samhæfð kísilskífa framleiðendur, birgjar, verksmiðja